リソグラフィー；石版印刷
lithography は光や電子線で微細な回路を描く半導体の技術で、もとは石版による印刷。printing は印刷全般、etching は表面を削って模様を作る工程。photolithography（フォトリソグラフィー）が半導体製造の中心。
photolithography / electron beam lithography / lithography machine / optical lithography / lithography process
ギリシャ語 lithos「石」＋ graphia「書くこと」← graphein「書く」→ 英語 lithography。「石に描く」ことから、石版印刷や微細な回路の転写技術を意味する。
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